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小型真空等离子清洗机

简要描述:四川重庆高校研究型小型真空等离子清洗机真空腔体应用于结合的非常薄的金属堆叠的先进封装上的坚固和可靠的结合,以及在晶片变薄或切割之后的附着力提高。导管-等离子体聚合物沉积使用烯丙基胺单体医疗导管的创建一个光滑的涂层,可以抵御严酷的多周期而不失其色领带层性能的应用。

  • 产品型号:SPV-5
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2022-09-21
  • 访  问  量:1348

详细介绍


  四川重庆高校研究型小型真空等离子清洗机设备简介:
 
  离子电源、抽真空系统、充气系统、自动控制系统等部分组成。工作基本原理是在真空状态下,等离子作用在控制和定性方法下能够电离气体,利用真空泵将工作室进行抽真空达到30-40pa 的真空度,再在高频发生器作用下,将气体进行电离,形成等离子体(物质第四态),其显著的特点是高均刀性辉光放电,根据不同气体发出从蓝色到深紫色的彩色可见光,材料处理温度接近室温。这些高度活跃微粒子和处理的表面发生作用,得到了表面亲水性、拒水性、低摩擦、高度清洁、激活、蚀刻等各种表面改性。
 

  四川重庆高校研究型小型真空等离子清洗机处理优点: 
  1.环保技术:等离子体作用过程是气- 固相干式反应,不消耗水资源、无需添加化学药剂,对环境无污染。
  2.广适性:不分处理对象的基材类型,均可进行处理,如金属、半导体、氧化物和大多数高分子材料都能很好地处理;
  3.温度低:接近常温,特别适于高分子材料,比电晕和火焰方法有较长保存时间和较高表面张力。
  4.功能强:仅涉及高分子材料浅表面(10 -1000A ),可在保持材料自身特性的同时,赋予其一种或多种新的功能;
  5.低成本:装置简单,易操作维修,可连续运行,往往几瓶气体就可以代替数千公斤清洗液,因此清洗成本会大大低于湿法清洗。
  6.全过程可控工艺:所有参数可由电脑设置和数据记录,进行工艺质量控制。
  7.处理物几何形状无限制:大或小,简单或复杂,部件或纺织品,均可处理。
 
  SPV-5等离子清洗机技术参数:
  1.功率:0-300W
  2.频率:40KHz
  3.腔体尺寸:直径 150mm×270mm 容量 5L(腔体可定制)
  4.外形尺寸:560×540×550mm
  5.供电电源:AC220V
  6.真空度:1-30Pa(压力表量化值显示,可选装高真空硅管)
  7.气体路数:双路气体输入
  8.气体流量:10—100ml/min(浮子流量计,可选装电子流量计 10-300ml/min)
  9.控制过程:PLC 人机界面自动与手动方式
  10.清洗时间:1-99999s 可调
  11.功率大小:10%-100%可调
  12.冷却方式:强制风冷
  13.腔体温度: <35℃
  14.电极板:单层电极板
  15.离子轰击方向: 电极板垂直向下
  16.真空泵:2XZ-4(抽速 4L/S)
 
 

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