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半导体芯片晶圆Wafer洁净度接触角测量仪

简要描述:半导体芯片晶圆Wafer洁净度接触角测量仪晶圆的洁净度测量;HMDS的处理控制;CMP的研究测量、光阻与显影剂的研究,防水与亲水性能材料研究探讨;表面活性与清洁剂的张力、湿性;黏性增强与附着表面能测量。基质表面洁净度;原子合成氧化识别;BGA焊接表面;环氧化物的附着度测量。玻璃面板洁净度与镀膜质量测量;TFT打印电路、彩色滤 光片、 ITO导体胶卷等前涂层质量测量,印刷、塑胶行业:表面清洁

  • 产品型号:SDC-600
  • 厂商性质:生产厂家
  • 更新时间:2021-06-30
  • 访  问  量:974

详细介绍

技术规格(Specifications

(一)半导体芯片晶圆Wafer洁净度接触角测量仪主机:

(1)主机使用高强度航空铝合金结构搭配模块化设计理念,自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器运行;

(2)成像部分使用高性能日本*工业机芯及无失真远心镜头确保成像效果。

(3)工业级可调LED单波长冷光源系统,成像更清晰

(4)自动位移平台,实现Y、Z自动定位测量,定点地位更精确,测量效率更高

规格

  1. 主机外形尺寸:1200mm(长)*600mm(宽)* 670mm(高) 
  2. 主机净重:55KG
  3. 工作台面尺寸:420mm*420mm
  4. 工作台移动:

 前后移动 自动,行程160mm,精度0.01mm
        上下移动 手动,行程20mm,精度0.01mm

  1. 进样器移动:自动上下60mm(自动);  左右30mm
  2. 工业镜头移动:前后30mm(微调3mm)
  3. 工业镜头:0.7X *-4.5X高清远心连续变倍变焦显微镜
  4. CCD:SONY*高速工业级芯片;60帧/S
  5. 镜头角度可调试:仰视、平视、俯视多视角观察
  6. 光源:LED可调节蓝色基调工业级冷光源;使用寿命达贰万伍仟小时以上
  7. 电源及功率:220V / 60HZ

 

(二)半导体芯片晶圆Wafer洁净度接触角测量仪分析软件:

(1)国内先进的接触角测量分析软件自动椭圆拟合法(一键自动拟合,不存在人工误差)包括:

圆法拟合(Circle method)(适用于低角度接触角测量)

椭圆/斜椭圆拟合法(Ellipse/Oblique ellipse)(适用于高角度接触角拟合)

LY(应用于120°以上高角度接触角测量)

微分椭圆法/微分圆法(Differential circle / Differential ellipse)(应用于不规则液滴形态接触角的拟合)

  1. 动态接触角拟合包括:

润湿性能测试(Wettability)(应用于慢性吸收材料、润湿材料的表面吸收或润湿性能测试,批量处理)

视频拟合(Video analysis)(应用于吸收或润湿速度较快的样品的吸收或润湿性能测试,视频动态处理)

  1. 动态表面/界面张力测量(Measurement of dynamic surface / interfacial tension)(测量液体整个过程的张力变化趋势,更准确的判定其真实的表面/界面张力)
  2. 表面能量计算(Surface energy)(使用主流的多种表面能计算方式测量对固体表面能量进行分析)
  3. 粘附功(Adhesion work)
  4. 数据报告(Data report)(支持WORD、Excel类型数据报告,自动生成晶圆模式数据谱图)

规格:

  1. 接触角测量范围:0-180°
  2. 接触角测量精度:±0.1°
  3. 表界面张力测量范围:0-2000mN/m;测量精度:0.01 mN/m
  4. 高精度自动滴液系统:软件高精度滴液系统;滴液精度:0.0 1μl
  5. 一键式多点测量(可多次循环):自动进样→自动接液→软件自动完成测量→自动换下一个点位
  6. 可针对不同样品设置测量方案并可保存,方便下次再次测量同一类样品时直接调取测量

四·产品特点(Product features)

  1. 专业级的高精度注射系统,全电脑控制,液滴控制精度可达0.01μl
  2. Y轴自动位移,平台自动旋转,可一次测量多个已设置点并给出对应测量数据,实现全自动化测量
  3. 工业级可调LED冷光源系统(寿命25000H以上),更清晰的成像,同时避免额外热度所导致的小液滴挥发
  4. 采用高性能日本*工业机芯,无失真远心镜头,确保成像效果。
  5. 采用USB2.0标准接口,数据传输速度快,兼容性高
  6. 高强度航空铝合金结构,模块化设计理念,可配置各种常用测量附件
  7. 自主研发的集成芯片电路控制,保证仪器运行
  8. 多种辅助模块选取,满足更多的外部测试条件
  9. 光学系统顶式法,适合超低角度测量和疏水材料测量
  10. 多种接触角分析方法,更适合多种材料接触角测量
  11. 采用计算方法,能够自动识别基准线及轮廓线,无人为误差
  12. 高速全自动操作测量,且直观读取数据结果,有图有真相,有拟合痕迹,测流量结果是否准确一目了然
  13. 表面接触角分析模块,更简捷的操作,更准确的结果
  14. 视频快速测试数据,可连续性进测试接触角形态变化
  15. 一键式软件操作: 【按空格键】--打开摄像头; 【测试】--精准的控制滴液-自动接液-高精度的进行全自动测量-测量完毕后自动更换测量位置直至整个原设置好的测量方案运行结束

仪器应用领域

  • TFT-LCD面板行业:玻璃面板洁净度与镀膜质量测量;TFT打印电路、彩色滤    光片、 ITO导体胶卷等前涂层质量测量

  • 印刷、塑胶行业:表面清洁与附着质量测量;油墨附着度测量;胶水胶体性质相容性测量;染料的紧扣度

  • 半导体产业:晶圆的洁净度测量;HMDS的处理控制;CMP的研究测量、光阻与显影剂的研究

  • 化学材料研究:防水与亲水性能材料研究探讨;表面活性与清洁剂的张力、湿性;黏性增强与附着表面能测量

  • IC封装:基质表面洁净度;原子合成氧化识别;BGA焊接表面;环氧化物的附着度测量

光学接触角测量仪:是一种简单、快速、灵敏的方法测量固体表面的润湿性。且可间接测量固体表面能与液体表面张力。

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