X射线荧光光谱仪工作原理

X射线荧光光谱仪能用于测定周期表中多达83个元素所组成的各种形式和性质的导体或非导体固体材料，其中典型的样品有玻璃、塑料、金属、矿石、耐火材料、水泥和地质物料等。凡是能和X射线发生激烈作用的样品都不能分析，而要分析的样品必须经受在真空（4——5Pa）环境下测定，与其他分析技术相比，XRF具有分析速度快，稳定性和精密度好以及动态范围宽等优点。
X射线荧光光谱仪工作原理
X射线荧光光谱仪有两种类型：一种是波长色散型（WDX），一种是能量色散型（EDX），我公司（INNOV-X中国服务中心）使用的是波长色散型（XRF分析仪），在WDX中，荧光光谱通过色散元件（如晶体）被分离成不连续的波段，然后用气体正比计数器或闪烁计数器检测，其主要组成是X光管、初级准直器、晶体、次级准直器和探测器，及辅助装置如初级滤光片等。
SDD探测器X荧光仪共有2个探测器，即流气正比计数器和闪烁计数器，装在探测器架上，可程控切换。扫描式X射线荧光仪安装的是具有很大测定灵活性的测角仪，只要配备了必要的分析晶体就能按序分析周期表上多达83个元素。
此外，测角仪还可以使用半定量分析元件如QuantAS，这些软件能快速分析未知样品，而不需要使用标准参考物质做仪器校准。而我公司ARL9800XP荧光光谱仪装有一个测角仪（扫描道）和一个衍射道，如果需要还可以再装14个固定道，它配有12位样品交换器，可以设定自动进样。
X射线荧光光谱仪的基本原理
被测试样进入光谱仪后，受到来自X光管发出的X射线光束激发，产生X荧光，X射线荧光是指用X射线管或其它合适的辐射源照射物质时，使组成物质的原子产生具有特征性的一种次级X射线，X光管发射的光谱是有靶材元素（Rh铑）的特征谱和连续谱（或称白色辐射）所组成，来自样品的辐射是由X光管光谱和样品中各元素的特征谱所组成的混合光，这种混合光被引入测角仪所组成的色散系统分光，分光后所得的谱线和被测样品中存在的元素有关。