低温等离子设备也是属于干洗法，与传统湿法清机相比，等离子清洗机具有工艺简单、操作简单、可控性高、精度高，可以将表面一次清洗干净不会有残留剩余，反观湿法清洗一次清洗不干净还会有残留物，如果使用大量的溶剂，对环境和人体都会有害。
低温等离子设备在使用过程中，有两种清洗过程：化学反应和物理反应。以化学反应为主的等离子清洗机具有：性能好、清洗快、去除氧化物、有机物及物体表面活化效果好，且使用过程中不会产生对人体和环境有害的气体来，是一种真正环保的设备。
下面将分享清洗方法有哪些：
1、物理作用：具有表面刻蚀作用：
等离子气体中是多种活粒子组合成有：自由基、激发态分子、离子，它们作用就是清除物体表面的杂质和污染物，且会产生刻蚀作用，将样品表面变粗糙，形成许多微细坑洼，增大了样品的比表面。提高固体表面的润湿性能。
2、交联作用：激活键能：
等离子体中的粒子能量在0~20eV，而聚合物中大部分的键能在0~10eV，因此等离子体作用到固体表面后，可以将固体表面的原有的化学键产生断裂，等离子体中的自由基与这些键形成网状的交联结构，大大地激活了表面活性。
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