小型等离子清洗机集成了RF等离子体发生技术、计算机控制技术、软件编程技术，采用气体作为清洗介质，有效地避免了因液体清洗介质对被清洗物带来的二次污染。工作时外接一台真空泵，清洗腔内的等离子体轻柔冲刷被清洗物的表面，可短时间内*清洗掉有机污染物，清洗程度可达到分子级。另外，其样品台可选配加热功能，可加负偏压，用以实现离子蚀刻。此外，其可在特定条件下根据需要改变某些材料表面的性能。
本产品目前广泛应用于等离子清洗、刻蚀、等离子镀、等离子涂覆、等离子灰化和表面改性等场合。通过其处理，能够改善材料表面的润湿能力，使多种材料能够进行涂覆、镀等操作，增强粘合力、键合力，同时去除有机污染物、油污或油脂。
小型等离子清洗机在运行的时候应该要注意的事项：
1、正确设置等离子设备的运行参数，按时设备使用说明书来执行；
2、保护好等离子体的点火装置，以确保等离子清洗机可以正常的启动；
3、等离子设备在启动前的准备工作，要对相关的人员进行培训，同时确保操作等离子清洗机的人员可以按照要求严格执行各项操作；
4、在一次风管没有通风的时候，等离子体的发生器运行时间不能超过设备说明书上面要求的时间，防止烧坏燃烧器，造成不必要的损失；
5、如果需要对等离子设备进行维护时请将等离子发生器进行断电后再进行相应的操作。
保养说明：
1、定期检查真空泵油：每月定期查看真空泵油位和油的纯度，观察油位视窗，油位接近最小红线刻度时，则添加到油红标线上下之间位置；观察油的颜色，正常的油为清洁透明，当油出现浑浊、真空泵噪音异常，则及时更换真空油。
2、清洗反应腔室：首先脱脂棉布沾无水乙醇擦拭真空腔体；其次腔体导入（氩气+氧气）或（氮气+氧气），用等离子体清除腔体内残余物。工作10分钟，每月至少一次。
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