判断Plasma等离子清洗效果，方法都有哪些？

  等离子清洗机(plasma cleaner)也叫等离子清洁机，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果。等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态。等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素（亚稳态）、光子等。等离子清洁机就是通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

等离子清洗机的应用已经非常非常广泛，汽车制造、手机制造、玻璃光学、材料科学、电子电路、印刷造纸、塑料薄膜、包装技术、医疗医用、纺织工业、新能源技术、航天军工、手表首饰等等。

那么，有哪些方法可以判断Plasma等离子清洗机做表面处理的效果呢？

1、水滴角测试
水滴角测试是测试等离子体对产品有无处理效果的方法之一，水滴角测试可以体现出等离子对产品处理是否有效果，但不能够*依靠此结果判断是否已经达到处理要求，特别是在去除Particle的工艺中，水滴角是无法测试出Particle是否被去除的。

水滴角测量仪（接触角测量仪）
不同材质的产品，等离子处理前和处理后的水滴角是不同的，这取决于被处理材质的分子或组织结构，不同材质其初始表面能是*不同的，经等离子处理后其表面发生的反应也不相同，所以处理后的角度也是不统一的，特别是有机材料。

无机材料等离子处理时，其主要作用是清除表面油污、粗化表面等，其他影响因素较少，所以经处理后的表面通常是变化比较大的，如表面光滑清洁，经等离子处理后通常都能达到20°以下。

硅晶圆处理前41.83℃ 硅晶圆处理后12.54℃
有机材料种类繁多，其分子结构非常复杂，且难以做到*统一。比如同样是PP材质，生产过程中管控不统一，所形成的分子结构也会有所区别，如果添加了不同色母或其他填充物，那么其结构就更复杂了，初始的表面能也会有较大的变化。从以上的举例中我们也可以看到，不同的材料，其水滴角的初始角度和处理后的角度都是有很大区别的，尤其是一些成分较多的复合材料，其中含F的材料是难处理的。

水滴角是一种量化处理效果比较简单的方式，但需要根据被处理产品材质的特点及实际使用要求，制定合理的测试方案。如是去除Particle的清洗，不建议使用水滴角测试去评测是否清洗干净，水滴角是无法体现是否去除Particle的，只能判断出是否提高了表面能，而且需要去除Particle的表面基本都是光滑清洁的表面，等离子处理后水滴角基本都是在20°以下。

注意：水滴角测试需统一每次测试的水滴大小，并确保测试用水无较大变化。

2、达因笔测试
达因，表面张力[英dyne]的单位，物体表面能的大小单位，达因值小，物体表面能低，达因值大，物体表面能大，表面能越大，吸附性越好，粘接和涂覆效果越佳；
达因笔可以直接测试物体表面能量的大小，使用方便可靠。

3、SEM扫描
电子扫描电镜的简称，可以将物体表面放大到几千倍，将分子结构的微观图片拍摄出来。

4、红外线扫描
利用红外线测试设备，能测试出工件经过等离子处理前后，工件表面极性基团和元素成份组合状况。

5、拉力（推力）测试
对于用于粘接的产品来讲，这种方法是可靠的。

6、高倍显微镜观察法
适用于要求去除Particle的相关产品。

7、切片法
适用于续作切片观察的行业，例如PCB和FPC加工行业，通过制作切片，利用晶相显微镜观察和测量线路板孔内的刻蚀效果。

8、称重法
尤其适合检测等离子对材料表面进行刻蚀和灰化后的效果，主要目的是验证等离子处理设备的均匀性，这是比较高的指标，一般国内设备均匀性都不够理想。